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PECVD的优点：
• 多功能性： 可以在相对较低的温度下沉积多种功能性薄膜，如氧化物、氮化物等，适用范围广。
• 均匀沉积： 利用等离子体处理气体，可以实现较均匀的薄膜沉积，膜层质量高且表面平整。
• 成膜速度快：成膜速度较快，适用于大面积的薄膜涂覆。
• 低温沉积：通常在较低的温度下进行，可避免热应力对基材的影响，适合对基材要求较高的应用。
• 可实现复杂薄膜结构： 可实现复杂的薄膜结构设计，如多层薄膜堆积、梯度薄膜等，提高了光伏器件的性能和稳定性。
PECVD
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PVD
